真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。

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1.旋片真空泵的工作原理
旋片真空泵(簡稱旋片泵)是一種油封機械真空泵。其工作壓力范圍為101325~1.33倍；10-2(pa)屬于低真空泵?？蓡为毷褂茫部勺鳛槠渌哒婵毡没蛘婵毡脵C組的前級泵。它已廣泛應用于冶金、機械、軍工、電子、化工、輕工、石油和醫(yī)藥等生產和科研部門。
2.水環(huán)真空泵的工作原理
水環(huán)真空泵葉片的葉輪偏心安裝在圓柱形泵殼內。一定量的水被注入泵中。當葉輪旋轉時，水被甩到泵殼上形成水環(huán)，水環(huán)的內表面與葉輪輪轂相切。由于泵殼與葉輪不同心，右半轂與水環(huán)之間的進氣空間逐漸擴大，從而形成真空，使氣體通過進氣管進入泵內的進氣空間。然后氣體進入左半部，由于轂環(huán)之間的容積逐漸壓縮，壓力增大，于是氣體通過排氣空間和排氣管排到泵外。
3.羅茨真空泵的工作原理
真空泵機組中的羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相似。由于轉子的連續(xù)旋轉，泵送氣體從空氣入口被吸入轉子和泵殼之間的空間v0，然后通過空氣出口排出。由于v0空間在吸入后完全關閉，泵室中的氣體不會被壓縮和膨脹。然而，當轉子的頂部翻轉排氣口的邊緣并且v0空間與排氣側連通時，由于排氣側的高氣體壓力，一些氣體被沖回到空間v0中，這突然增加了氣體壓力。當轉子繼續(xù)旋轉時，氣體從泵中排出。