真空泵機組的工作原理基于排氣原理，通過泵的運轉將容器內氣體排出，從而形成一定的真空環(huán)境。

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主要工作原理包括機械泵原理、分子泵原理和渦流泵原理，機械泵通過動力傳遞給泵機構，使泵運轉，從而通過葉輪和流道進行氣體吸入和排放；分子泵通過高速旋轉的轉子使氣體分子得到高速撞擊，從而將氣體分子排出真空室；渦流泵則是通過偏心轉子和靜子之間的空隙產生的渦流來實現(xiàn)氣體排放。
在選型真空泵機組時，需要考慮抽氣速率、最終真空度、氣體種類和壓力范圍等因素，同時，使用真空泵機組時需要注意以下幾點：
在正常運轉前，應檢查真空泵有無異常振動及沖擊聲響，初次使用的真空泵還需測定極限壓強。
需要通冷卻水的機械真空泵，在開機前應先通冷卻水，然后再啟動。
安裝真空泵時，應檢查電機是否正轉，真空設備應安裝在清潔、干凈的環(huán)境里。
長時間停機啟動真空泵前，應斷續(xù)多次啟動真空泵，以防止堅硬物質落入真空泵內劃傷運動部件。
真空泵在工作過程中，應定期更換潤滑油，檢查軸套的磨損情況。