滑閥真空泵（簡稱滑閥泵）同旋片泵一樣，也是一種變?nèi)菔綒怏w傳輸泵，但是滑閥真空泵和2X旋片真空泵相比，耐用高出好幾倍。

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羅茨滑閥真空機(jī)組是由普通羅茨泵為主泵、滑閥真空泵為前級(jí)泵串聯(lián)組成的真空機(jī)組。
通過真空繼電器或電接點(diǎn)壓力表，來實(shí)現(xiàn)羅茨泵滑閥泵的自動(dòng)啟閉，自動(dòng)過載保護(hù)，整套機(jī)組安裝在一個(gè)機(jī)架上，配以管道、閥門、電器操作控制箱、冷卻水管系統(tǒng)。機(jī)組結(jié)構(gòu)緊湊，使用方便。
根據(jù)被抽真空系統(tǒng)的大小及極限壓力的不同，真空機(jī)組各泵之間的名義抽速之比一般在4：至10：1之間，前者較后者適用于較大真空系統(tǒng)及長時(shí)間在較低入口壓力或極限真空情況下工作。
本系列機(jī)組為了防止滑閥泵停機(jī)時(shí)返油，在前級(jí)進(jìn)口管道上裝有電磁充氣閥，其動(dòng)作與前級(jí)泵電動(dòng)機(jī)實(shí)現(xiàn)聯(lián)動(dòng)，當(dāng)滑閥泵停泵前，向泵口充氣，確保滑閥泵內(nèi)的真空油返回到油箱內(nèi)，同時(shí)防止真空系統(tǒng)受到真空油污染。